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| 發(fā)布時(shí)間： |
2024/10/24 16:57:00 |
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碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫?cái)U(kuò)散爐 青島晨立電子有限公司 詳細(xì)說(shuō)明 |
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​主要技術(shù)指標(biāo)：
★可處理硅片尺寸：2—8英寸
★外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)
★工作溫度：200℃—1300℃
★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
★單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±0.5℃／24h
★溫度斜變：可控升溫速率20℃／min，
★可控降溫速率：5℃／min
★送片裝置：全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動(dòng)推拉
★氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
★氣體控制：全自動(dòng)MFC、手動(dòng)浮子流量計(jì)
★控制方式：工控機(jī)、觸摸屏
青島晨立電子有限公司主要產(chǎn)品：高低溫?cái)U(kuò)散爐、實(shí)驗(yàn)爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高 精 度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體等，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線，進(jìn)口半導(dǎo)體專(zhuān) 用設(shè)備的翻新升級(jí)改造及各大專(zhuān)院校科研院所的非標(biāo)研發(fā)定制工作。
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://s3643.cn/sjshow_507802898/
手機(jī)版網(wǎng)址：http://m.vooec.com/trade_507802898.html
產(chǎn)品名稱(chēng)：碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫?cái)U(kuò)散爐 青島晨立電子有限公司 |
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電 話： |
86-0532-88533525 |
| 傳 真： |
86-- |
| 手 機(jī)： |
13869885308 |
| 地 址： |
山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號(hào)聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號(hào)樓 |
| 網(wǎng) 址： |
http://chenlidianzi.cn.vooec.com |
| 郵 編： |
266200 |
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