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| 您現(xiàn)在的位置： 青島晨立電子有限公司 > 供應(yīng)信息> SIC高溫氧化爐-氧化擴散爐-科研電爐 晨立電子 |
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| 發(fā)布時間： |
2025/1/11 16:10:00 |
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SIC高溫氧化爐-氧化擴散爐-科研電爐 晨立電子 詳細說明 |
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擴散爐系列設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴散、燒結(jié)、合金等工藝。 設(shè)備特點：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標(biāo)：
★ 爐管數(shù)： 1～4管
★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒溫區(qū)長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 單點穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 氣源路數(shù)： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
★ 氣體控制： 浮子/質(zhì)量流量計
★ 懸臂舟參數(shù)： 速度： 20～1000 mm/min ~大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm ~大載荷：17 Kg
★ 超凈工作臺： 凈化等級：100級（萬級廠房）噪音： ≤62dB（A）振動： ≤3μm
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://s3643.cn/sjshow_507802902/
手機版網(wǎng)址：http://m.vooec.com/trade_507802902.html
產(chǎn)品名稱：SIC高溫氧化爐-氧化擴散爐-科研電爐 晨立電子 |
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