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| 發(fā)布時(shí)間： |
2024/10/24 16:57:00 |
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磁力真空退火爐 磁場(chǎng)真空退火爐 青島晨立電子有限公司 詳細(xì)說(shuō)明 |
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用途：
該設(shè)備用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝過(guò)程中，在可控磁場(chǎng)中實(shí)現(xiàn)真空退火、真空合金、真空晶化等工藝。該系統(tǒng)具有精確的磁場(chǎng)強(qiáng)度和溫度控制系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。
主要技術(shù)參數(shù)：
◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型
◆工作溫度范圍：500度，700度，1100度。
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：±0.5℃/800mm
◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆工藝均勻性:≤±5％
◆控制方式： 工業(yè)微機(jī)控制
◆真空度： 5*10-4 Pa
◆記錄工藝曲線(xiàn)數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制
青島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導(dǎo)體設(shè)備及零部件、電子設(shè)備及電子元器件生產(chǎn)、研發(fā)、銷(xiāo)售廠(chǎng)家。為客戶(hù)提供先進(jìn)材料熱處理、高精度電加熱設(shè)備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。
主要產(chǎn)品：高低溫?cái)U(kuò)散爐、實(shí)驗(yàn)爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體等，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線(xiàn)，進(jìn)口半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的翻新升級(jí)改造及各大專(zhuān)院校科研院所的非標(biāo)研發(fā)定制工作。
本產(chǎn)品網(wǎng)址：http://s3643.cn/sjshow_507805703/
手機(jī)版網(wǎng)址：http://m.vooec.com/trade_507805703.html
產(chǎn)品名稱(chēng)：磁力真空退火爐 磁場(chǎng)真空退火爐 青島晨立電子有限公司 |
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電 話(huà)： |
86-0532-88533525 |
| 傳 真： |
86-- |
| 手 機(jī)： |
13869885308 |
| 地 址： |
山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號(hào)聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號(hào)樓 |
| 網(wǎng) 址： |
http://chenlidianzi.cn.vooec.com |
| 郵 編： |
266200 |
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